小型加壓供油真空排氣用回轉泵

小型加壓供油真空排氣用回轉泵

真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動
5-28 m3/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動安裝

一、產品定位

• 真空排氣專用：半導體、LED、分析儀器、實驗室前級真空
• 加壓供油：內置齒輪泵強制潤滑，高負荷連續運行不卡死
• 小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風櫥/移動車
• EM·RV 系列：EM 經濟型，RV 重載型，同頁選型

二、核心技術參數（EM·RV 系列）

三、功能亮點

1. 0.5 Pa 極限：比同級泵極限低 50 %，適合高真級
2. 加壓供油：0.3 MPa 強制循環，24 h×365 d 連續運行不卡死
3. 小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可手提移動
4. 空冷無水管：并排安裝，產線無需冷卻水改造
5. < 2.3 m/s2 低振動：可直接放樓層/潔凈室，無需地基減振
6. ≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統

半導體前級真空┌─ 工藝腔體 ─┐│               │進口← EM-10 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進口接工藝腔體，0.5 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集微粒，延長泵壽命

五、實測數據（實驗室驗證）

• 工藝腔體 50 L，室溫 25 ℃
• EM-10 50 Hz 運行：
• 2 min 達到 10 Pa
• 5 min 極限 0.5 Pa
• 連續 8 h 油溫 <70 ℃，無冷卻水
• 振動 < 2.3 m/s2（天平無漂移）

六、選型與配件

七、維護與可靠性

• 油：VG-68 高耐磨，每 3,000 h 更換
• 加壓油泵：齒輪泵，壽命 >30,000 h，免維護

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