半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵

三、功能亮點

1. 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
2. 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
3. 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
4. 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
6. 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

• MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 運行：
• 2 min 達到 20 Pa
• 5 min 極限 3.3 Pa
• 連續 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
• 噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

七、維護與可靠性

• 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
• 粉塵阱：每月清理一次
• 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
• 整機 2 年質保，10 年配件保障

八、結論

三、功能亮點

1. 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
2. 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
3. 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
4. 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
6. 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

• MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 運行：
• 2 min 達到 20 Pa
• 5 min 極限 3.3 Pa
• 連續 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
• 噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

七、維護與可靠性

• 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
• 粉塵阱：每月清理一次
• 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
• 整機 2 年質保，10 年配件保障

八、結論