空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵

空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵

FT6-36P · LED 生產工藝專用

六段 Root + 油旋片復合 · 空冷 · 無冷卻水
250 m3/h · 極限 6.7×10?2 Pa · 重量 230 kg · 可并排

一、產品定位

• LED 生產工藝：
• MOCVD 前級（GaN 外延）
• 濺射 & 離子鍍
• 高亮度芯片干刻
• 空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產線無需水改
• 六段 Root + 油旋片：復合抽氣，高抽速 + 低極限，適合大腔體快速抽真空

二、核心技術參數（FT6-36P）

三、功能亮點

1. 六段 Root 高抽速：250 m3/h，比同級雙段泵高 50 %，MOCVD 腔體 3 min 抽到 10 Pa
2. 空冷無水管：并排安裝，產線無需冷卻水改造
3. 6.7×10?2 Pa 極限：滿足 MOCVD、濺射、離子鍍工藝背壓要求
4. 硬陽極 Root 轉子：耐 GaN 粉塵、耐金屬飛濺，壽命 30,000 h
5. 強制油循環：高負荷連續運行，油溫 <70 ℃
6. 65 dB 靜音：比水冷泵低 10 dB，潔凈室旁運行不擾人

四、典型應用系統

MOCVD 反應室 300 mm┌─ 反應室 ─┐│           │進口← FT6-36P ← 粉塵過濾器（可選）│           │└─ 回大氣 ──┘

• 泵進口接反應室，3 min 抽到 10 Pa，滿足 GaN 外延工藝
• 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

• 反應室 300 mm，室溫 25 ℃
• FT6-36P 50 Hz 運行：
• 1 min 達到 100 Pa
• 3 min 達到 10 Pa
• 極限 6.7×10?2 Pa
• 連續 24 h 油溫 <65 ℃，無冷卻水

六、選型與配件

七、維護與可靠性

• 油更換：每 3,000 h 或 1 年
• Root 轉子：硬陽極氧化，壽命 30,000 h，免維護
• 粉塵過濾器：每月清理一次
• 整機 2 年質保，10 年配件保障

八、結論