多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵

多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵

1. 結構特點

• 多級羅茨轉子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護周期＞20 000 h
• 反向擴散流路：氣體在泵腔內折返流動，可凝蒸氣被回流冷氣連續稀釋，顯著降低凝結與腐蝕，提高耐化學耐久性
• 回流冷卻系統：每級壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長清洗間隔

2. 高排氣速度（50 Hz 數據）
   | 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 無油 & 清潔

• 泵腔無油，無碳片/無潤滑脂，排氣側無油霧回流，滿足半導體、面板廠對潔凈真空的要求
• 可選氮氣吹掃口與排氣消音器，用于粉塵或腐蝕性氣體工藝，減少維護頻率

4. 節能 & 噪音

• 變頻直連電機（可選），根據負荷自動降速，比傳統單級羅茨節電 15–25 %
• 無齒輪嚙合，運行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，無需隔音罩即可放在潔凈室樓下機房

5. 典型應用

• 半導體：CVD、ALD、刻蝕腔真空泵，可長期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段，抗 SiN 粉塵反擴散
• 化工 & 制藥：溶劑蒸餾、干燥、結晶，可冷凝甲苯、DMF 等有機蒸氣并在線回收

6. 選型 & 訂貨

• 標準品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 現貨 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接機械增壓泵 (TE 系列) 組成干式機組，極限 10?2 Pa 級

1. 結構特點

• 多級羅茨轉子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護周期＞20 000 h
• 反向擴散流路：氣體在泵腔內折返流動，可凝蒸氣被回流冷氣連續稀釋，顯著降低凝結與腐蝕，提高耐化學耐久性
• 回流冷卻系統：每級壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長清洗間隔

2. 高排氣速度（50 Hz 數據）
   | 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 無油 & 清潔

• 泵腔無油，無碳片/無潤滑脂，排氣側無油霧回流，滿足半導體、面板廠對潔凈真空的要求
• 可選氮氣吹掃口與排氣消音器，用于粉塵或腐蝕性氣體工藝，減少維護頻率

4. 節能 & 噪音

• 變頻直連電機（可選），根據負荷自動降速，比傳統單級羅茨節電 15–25 %
• 無齒輪嚙合，運行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，無需隔音罩即可放在潔凈室樓下機房

5. 典型應用

• 半導體：CVD、ALD、刻蝕腔真空泵，可長期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段，抗 SiN 粉塵反擴散
• 化工 & 制藥：溶劑蒸餾、干燥、結晶，可冷凝甲苯、DMF 等有機蒸氣并在線回收

6. 選型 & 訂貨

• 標準品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 現貨 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接機械增壓泵 (TE 系列) 組成干式機組，極限 10?2 Pa 級