光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵

光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵

1. 結構
• 多級羅茨轉子直聯變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護面僅正面一側
2. 光學行業對應性能
• 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
• 內置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學元件水痕
• 轉子經動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學車間內
3. 材質與潔凈度
• 過流部標準陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
• 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現 ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
4. 典型光學工藝
• 精密光學鍍膜機（電子束蒸發、離子輔助 IAD）粗抽與維持
• 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
• 光學塑料顆粒干燥前級泵，防止油分子反擴散造成黃變

1. 結構
• 多級羅茨轉子直聯變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護面僅正面一側
2. 光學行業對應性能
• 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
• 內置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學元件水痕
• 轉子經動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學車間內
3. 材質與潔凈度
• 過流部標準陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
• 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現 ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
4. 典型光學工藝
• 精密光學鍍膜機（電子束蒸發、離子輔助 IAD）粗抽與維持
• 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
• 光學塑料顆粒干燥前級泵，防止油分子反擴散造成黃變