超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
產(chǎn)品名稱: 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
產(chǎn)品型號(hào): L.TEX9220系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」,把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里,最高可穩(wěn)到 100 MPa,專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場(chǎng)合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話:用比減壓閥還小的體積,實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下:
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥 的詳細(xì)介紹
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」,把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里,最高可穩(wěn)到 100 MPa,專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場(chǎng)合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話:用比減壓閥還小的體積,實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下:
壓力規(guī)格
控制范圍:0.5–100 MPa(5 段量程彈簧可選,出廠標(biāo)定)
重復(fù)精度:≤ ±0.2 % F.S.(實(shí)測(cè) 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移<0.05 MPa)
耐壓:150 MPa(閥體 316L 整體鍛打,無焊縫)
泄漏率:≤ 1×10?? Pa·m3/s(He 檢漏,金屬面密封)
流量與介質(zhì)
Cv 值:0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換,最小可控流量 5 mL/min
介質(zhì):純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等(接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選)
溫度:0–90 ℃(標(biāo)準(zhǔn) Viton),高溫型 150 ℃(全 PTFE 彈簧腔)
驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
電機(jī):24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠,行程 8 mm,全行程時(shí)間 2 s
反饋:內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器(精度 ±0.1 %),同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485(Modbus RTU)
功耗:最大 18 W,穩(wěn)態(tài) 3 W,可 100 % 連續(xù)工作
體積與安裝
本體:96 × 96 × 120 mm(不含接頭),重量 2.8 kg,面板或支架任意方向
接口:1/4" HP 錐螺紋(Swagelok 60°)或 9/16"-18 UNF 超高壓平口,可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
防護(hù):IP54 正面,電子腔灌膠,可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝,節(jié)省 50 % 以上空間
典型用法
高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表,閉環(huán)精度高 10 倍
單晶圓清洗機(jī):100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓,防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
超臨界 CO? 萃取:背壓 30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn),提高萃取效率 15 %
高壓反應(yīng)釜:作為“泄壓/背壓"兩用,遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
選型提示
若流量>3 L/min 或管徑≥3/8",請(qǐng)選 9230 系列(Cv 0.6,體積 120 mm)
若控制壓力<15 MPa,可選 9210 經(jīng)濟(jì)型(體積 80 mm,無 RS-485)
需要防爆場(chǎng)合,廠家提供 9220-EX 型(ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb)
一句話總結(jié):L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高壓、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同時(shí)做到,是高壓微流量系統(tǒng)里“最省空間、最穩(wěn)背壓"的自動(dòng)背壓閥。
日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」,把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里,最高可穩(wěn)到 100 MPa,專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場(chǎng)合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話:用比減壓閥還小的體積,實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下:
壓力規(guī)格
控制范圍:0.5–100 MPa(5 段量程彈簧可選,出廠標(biāo)定)
重復(fù)精度:≤ ±0.2 % F.S.(實(shí)測(cè) 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移<0.05 MPa)
耐壓:150 MPa(閥體 316L 整體鍛打,無焊縫)
泄漏率:≤ 1×10?? Pa·m3/s(He 檢漏,金屬面密封)
流量與介質(zhì)
Cv 值:0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換,最小可控流量 5 mL/min
介質(zhì):純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等(接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選)
溫度:0–90 ℃(標(biāo)準(zhǔn) Viton),高溫型 150 ℃(全 PTFE 彈簧腔)
驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
電機(jī):24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠,行程 8 mm,全行程時(shí)間 2 s
反饋:內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器(精度 ±0.1 %),同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485(Modbus RTU)
功耗:最大 18 W,穩(wěn)態(tài) 3 W,可 100 % 連續(xù)工作
體積與安裝
本體:96 × 96 × 120 mm(不含接頭),重量 2.8 kg,面板或支架任意方向
接口:1/4" HP 錐螺紋(Swagelok 60°)或 9/16"-18 UNF 超高壓平口,可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
防護(hù):IP54 正面,電子腔灌膠,可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝,節(jié)省 50 % 以上空間
典型用法
高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表,閉環(huán)精度高 10 倍
單晶圓清洗機(jī):100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓,防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
超臨界 CO? 萃取:背壓 30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn),提高萃取效率 15 %
高壓反應(yīng)釜:作為“泄壓/背壓"兩用,遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
選型提示
若流量>3 L/min 或管徑≥3/8",請(qǐng)選 9230 系列(Cv 0.6,體積 120 mm)
若控制壓力<15 MPa,可選 9210 經(jīng)濟(jì)型(體積 80 mm,無 RS-485)
需要防爆場(chǎng)合,廠家提供 9220-EX 型(ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb)
一句話總結(jié):L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高壓、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同時(shí)做到,是高壓微流量系統(tǒng)里“最省空間、最穩(wěn)背壓"的自動(dòng)背壓閥。