半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥
產(chǎn)品型號: GHSN-3
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥日本千代田(Chiyoda Technol)GHSN-3 系列是一款「1 段減壓、高壓輸入」小型壓力調(diào)整器,專為高壓氣瓶(30 MPa 級)直接減壓至 0.1~1.6 MPa 左右的管路而設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕,適用于半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、分析機(jī)臺、激光氣體等高純/高壓場合。基本規(guī)格最高輸入壓力:30 MPa(≈4 350 psi)輸出調(diào)整范圍:0.05~0.35
半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥
半導(dǎo)體分析應(yīng)用單級高壓微型減壓閥
日本千代田(Chiyoda Technol)GHSN-3 系列是一款「1 段減壓、高壓輸入」小型壓力調(diào)整器,專為高壓氣瓶(30 MPa 級)直接減壓至 0.1~1.6 MPa 左右的管路而設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕,適用于半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、分析機(jī)臺、激光氣體等高純/高壓場合。
基本規(guī)格
最高輸入壓力:30 MPa(≈4 350 psi)
輸出調(diào)整范圍:0.05~0.35 / 0.1~0.7 / 0.2~1.6 MPa 三檔彈簧可選
流量系數(shù) Cv:0.08(GHSN-3)
閥體材質(zhì):SUS316L 全金屬,電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm
密封材質(zhì):PCTFE(閥針)、Viton/EPDM(O-ring)可選
連接口徑:入口 1/4" VCR 內(nèi)螺紋(面密封)
出口 1/4" VCR 或 Rc1/4 內(nèi)螺紋
重量:約 0.7 kg
使用溫度:-20 ℃~+70 ℃(環(huán)境)
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
單級減壓 + 平衡閥芯 → 30 MPa 一次降到位,出口波動(dòng) ≤ ±0.01 MPa
內(nèi)部容積 1.8 mL,死區(qū)小,吹掃置換快
閥針帶 10 µm 級過濾器,防止高壓顆粒劃傷密封面
手輪為防脫落結(jié)構(gòu),帶鎖緊螺母,振動(dòng)環(huán)境不漂移
可選自泄壓(Relief)型 GHSN-3R,當(dāng)出口超壓 15 % 自動(dòng)泄放
可選面板安裝螺母,厚度 1.5–10 mm 通用
流量特性(氮?dú)饫?br style="font-family: inherit; scrollbar-color: transparent transparent;"/>入口 30 MPa / 出口 0.7 MPa 時(shí),最大流量約 8 Nm3/h;
入口 15 MPa / 出口 0.2 MPa 時(shí),約 4 Nm3/h(足夠滿足單臺分析機(jī)臺或激光混合箱消耗)
選型后綴
GHSN-3-A-35-VR
│ │ │ │ └── VCR 接口
│ │ │ └---- 0.05-0.35 MPa 彈簧
│ │ └------ R = 帶泄壓,無記號 = 標(biāo)準(zhǔn)型
│ └-------- A = Viton O-ring,E = EPDM
└----------- 3 = 基本型號
應(yīng)用示例
半導(dǎo)體刻蝕 MIX 箱:高壓 Ar/CF? 瓶 → GHSN-3 → 0.3 MPa 進(jìn)質(zhì)量流量控制器
實(shí)驗(yàn)室 GC 載氣:He 瓶 20 MPa → 減壓 0.6 MPa 供色譜儀
激光氣體:高壓 CO? 混合氣一次減壓到 0.8 MPa,再進(jìn)二級微調(diào)閥
電廠儀表:高壓 N? 瓶吹掃,一次減壓 1 MPa 供母管
安裝與使用注意
入口必須配高壓截止閥與過濾器(40 µm)
建議垂直安裝(手輪向上),可減少閥芯自重引起的零漂
氣:微開入口閥,0.5 MPa 預(yù)吹 10 s,再緩慢升至工作壓力
長期不用:關(guān)閉瓶閥,打開出口泄放,旋鈕逆時(shí)針回零,保持彈簧松弛
維護(hù)與壽命
一句話總結(jié)
GHSN-3 是千代田的「30 MPa → 0.1-1.6 MPa」單級高壓微型減壓閥,全 316L + VCR 面密封 + 小死區(qū),專為 半導(dǎo)體/分析/激光 等高純高壓氣體一次減壓設(shè)計(jì),體積小、零漂移、易面板安裝,是高壓氣瓶柜里「最后一厘米」的可靠選擇。