搭載壓力數(shù)據(jù)監(jiān)測功能數(shù)字電離真空計

搭載壓力數(shù)據(jù)監(jiān)測功能數(shù)字電離真空計

性能特點

• 寬范圍測量：可測量從5×10?2 Pa到1.0×10? Pa（大氣壓）的寬范圍壓力。
• 高抗沖擊性：傳感器頭具有優(yōu)異的抗沖擊性，能夠承受較大的機械沖擊。
• 優(yōu)異的耐腐蝕性：細絲材料采用鉑（Pt），具有良好的耐腐蝕性。
• 高可維護性：傳感器頭易于更換，一鍵式大氣壓力調(diào)節(jié)和零點調(diào)節(jié)，維護方便。

操作與兼容性

• 提高可用性：可以通過連接到PC或智能手機來執(zhí)行設定點設置、狀態(tài)確認等操作。
• 靈活的測量輸出信號：兼容其他廠家型號，模擬輸出形式可從預設的典型輸出形式中選擇。
• 多種通信規(guī)格：SW100-A為模擬輸出類型，SW100-R為串行通信類型，支持RS232C/RS485通信。

應用領域

• 半導體制造：適用于FPD、半導體、電子零件等各種制造設備（在線型、單晶圓型）。
• 工業(yè)設備：可用于真空爐等工業(yè)設備。
• 分析設備：適用于各類分析設備。

其他特性

• 工作溫度范圍：10至40℃。
• 工作濕度范圍：15至80%（無冷凝）。
• 存儲溫度：-20℃至65℃（不通電，無冷凝）。
• 防護等級：IP30。

性能特點

• 寬范圍測量：可測量從5×10?2 Pa到1.0×10? Pa（大氣壓）的寬范圍壓力

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• 高抗沖擊性：傳感器頭具有優(yōu)異的抗沖擊性，能夠承受較大的機械沖擊

  。
• 優(yōu)異的耐腐蝕性：細絲材料采用鉑（Pt），具有良好的耐腐蝕性

  。
• 高可維護性：傳感器頭易于更換，一鍵式大氣壓力調(diào)節(jié)和零點調(diào)節(jié)，維護方便。

操作與兼容性

• 提高可用性：可以通過連接到PC或智能手機來執(zhí)行設定點設置、狀態(tài)確認等操作

  。
• 靈活的測量輸出信號：兼容其他廠家型號，模擬輸出形式可從預設的典型輸出形式中選擇。
• 多種通信規(guī)格：SW100-A為模擬輸出類型，SW100-R為串行通信類型，支持RS232C/RS485通信。

應用領域

• 半導體制造：適用于FPD、半導體、電子零件等各種制造設備（在線型、單晶圓型）

  。
• 工業(yè)設備：可用于真空爐等工業(yè)設備。
• 分析設備：適用于各類分析設備。

其他特性

• 工作溫度范圍：10至40℃

  。
• 工作濕度范圍：15至80%（無冷凝）。
• 存儲溫度：-20℃至65℃（不通電，無冷凝）。
• 防護等級：IP30

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