微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置

產(chǎn)品名稱: 微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置

產(chǎn)品型號(hào): FA1X系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置
日本 ROKI TECHNO 的 FA1X 系列是一款“工業(yè)用電解式高耐久型臭氧發(fā)生裝置"，主打高純、低維護(hù)、長(zhǎng)壽命，專為半導(dǎo)體、面板、制藥等法工藝設(shè)計(jì)。綜合公開信息，其核心特點(diǎn)與技術(shù)參數(shù)如下（如與貴司實(shí)際選型有差異，請(qǐng)以原廠最新規(guī)格書為準(zhǔn)）：
1. 電解式原理
去離子水（DI Water）直接電解生成 O?，無需氣源干燥、減壓或 PSA 制氧，避免

微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置 的詳細(xì)介紹

微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置

日本 ROKI TECHNO 的 FA1X 系列是一款“工業(yè)用電解式高耐久型臭氧發(fā)生裝置"，主打高純、低維護(hù)、長(zhǎng)壽命，專為半導(dǎo)體、面板、制藥等濕法工藝設(shè)計(jì)。綜合公開信息，其核心特點(diǎn)與技術(shù)參數(shù)如下（如與貴司實(shí)際選型有差異，請(qǐng)以原廠最新規(guī)格書為準(zhǔn)）：

1. 電解式原理

去離子水（DI Water）直接電解生成 O?，無需氣源干燥、減壓或 PSA 制氧，避免 NOx、顆粒等副產(chǎn)物，臭氧純度高，金屬離子析出極低，適合晶圓清洗、光刻膠去除、CVD 后清洗等對(duì)污染極其敏感的工藝。

2. 高耐久與低維護(hù)

采用鈦基+陶瓷復(fù)合電極板，表面納米涂層抑制析氧副反應(yīng)，電極壽命較傳統(tǒng)電解槽提升約 2 倍；
槽體為全 PTFE 或 PFA 一體注塑，高溫 (≤80 °C) 濃臭氧環(huán)境無滲透、無腐蝕；
內(nèi)置自動(dòng)極性反轉(zhuǎn)與脈沖清洗程序，可防止 Ca/Mg 結(jié)垢，實(shí)現(xiàn) 8 000 h 以上免開蓋維護(hù)周期
。

3. 性能范圍（FA1X 系列典型值）

臭氧產(chǎn)量：1–10 g/h（FA110 型最大 10 g/h，F(xiàn)A120 型 20 g/h，依此類推）；
出口濃度：5–200 mg/L 可調(diào)（以水溶液計(jì)，高濃度型最高 250 mg/L）；
DI Water 流量：1–20 L/min，壓力 0.15–0.4 MPa；
電源：?jiǎn)蜗?AC 220 V 50/60 Hz，功率 80–300 W；
進(jìn)出接口：3/8″ PFA 管或 ?″ 卡套，可訂制法蘭；
外形：桌面 320 × 220 × 420 mm（FA110），19″ 機(jī)架 4U/5U（FA120 以上）
。

4. 在線監(jiān)控與安全

標(biāo)配紫外-可見光吸收 (UV-Vis) 型臭氧濃度計(jì)，分辨率 0.1 mg/L，誤差 ≤ ±2 %；
PLC+7″ 觸控屏，實(shí)時(shí)顯示產(chǎn)量、濃度、槽溫、電導(dǎo)率；支持 RS-485/EtherNet/IP 與主機(jī)臺(tái)通信；
多段報(bào)警：低流量、超溫、電極劣化、O? 泄漏（<0.1 ppm）；泄漏時(shí)自動(dòng)停槽并啟動(dòng)催化分解器
。