產品資料
半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產品名稱: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產品型號: S/M/L系列
產品特點: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。? 核心賣點交換式（Ca
半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細介紹
半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點
- 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
- 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點
- 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
- 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
產品目錄
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機械設備
- 磁選機
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機
- 水準儀
- 變送器
- 臭氧檢測儀
- 色譜儀
- 拋光機
- 加熱器
- 張力計
- 混凝土檢測儀
- 加熱板
- 儲藏
- 壓力機
- 熱壓機
- 破碎機
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機
- 切割機
- 往復泵
- 攪拌
- 色選機
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機
- 涂布機
- 鍍膜機
- 試驗機
- 球磨機
- 均質機
- 脫泡機
- 點焊機
- 干燥機
- 研磨機
- 密度儀
- 擂搗機
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- 電子
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