桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì)
產(chǎn)品名稱: 桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): CRDS
產(chǎn)品特點(diǎn): 桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì)高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量專(zhuān)用 · 腔衰蕩光譜(CRDS)· 真空 ≤ 1×10?? Pa0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 響應(yīng) · 5 年壽命 · 即插即用
桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì) 的詳細(xì)介紹
桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì)
桌面型高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量酸素分析計(jì)
高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量專(zhuān)用 · 腔衰蕩光譜(CRDS)· 真空 ≤ 1×10?? Pa
0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 響應(yīng) · 5 年壽命 · 即插即用
一、產(chǎn)品定位
高純半導(dǎo)體氣體測(cè)量:H?、N?、Ar、He、NH?、有機(jī)溶劑蒸氣中的 O? 殘量
桌面型 CRDS:腔衰蕩光譜,真空 ≤ 1×10?? Pa,Class 100 兼容
酸素(氧氣)分析:0.01 – 100 ppm,±0.01 ppm,0.1 s 響應(yīng)
桌面型:底面積 A4,2.1 kg,即插即用,5 年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)(CRDS 型)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|
| 原理 | 腔衰蕩光譜(CRDS) |
| 檢測(cè)氣體 | 氧氣(O?) |
| 測(cè)量范圍 | 0.01 – 100 ppm(全范圍) |
| 精度 | ±0.01 ppm(±0.01 ppm,CRDS) |
| 分辨率 | 0.001 ppm(0.001 ppm,16 bit) |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa(真空版) |
| 大氣版 | 可選(內(nèi)置泵) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 0.1 s(0.1 s,CRDS) |
| 真空接口 | NW16(可轉(zhuǎn) NW25/NW40) |
| 電源 | DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器) |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm,2.1 kg |
| 壽命 | 5 年(CRDS 腔 + 激光器) |
三、功能亮點(diǎn)
0.01 – 100 ppm 全范圍:CRDS 腔衰蕩,全范圍精度 ±0.01 ppm
±0.01 ppm 超高精度:0.001 ppm 分辨率,O? 殘量微變實(shí)時(shí)捕捉
≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無(wú)泄漏
0.1 s 高速響應(yīng):0.1 s 高速響應(yīng),適合快速 O? 變化
2.1 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動(dòng),通風(fēng)櫥內(nèi)即用
5 年壽命:CRDS 腔 + 激光器,5 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體高純氣體 O? 分析┌─ 高純氣體管道 ─┐│ │O?← CRDS ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)(半導(dǎo)體驗(yàn)證)
氣體:高純 N?,O? 0.1 ppm,25 ℃
CRDS 型: