腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計

腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計

高精度測量

• 寬量程：可測量12 ppbv至20 ppmv（-100至-55℃露點）的微量水分。
• 高精度：系統精度為±4%或±12 ppbv，以較大值為準。

高速響應

• 快速響應：對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化，響應時間約60秒（90%響應）。

長期穩定性與耐腐蝕性

• 耐腐蝕性：傳感器部分采用耐腐蝕材料，適合測量腐蝕性氣體。
• 長期穩定性：采用CRDS技術，不依賴激光功率，具有長期測量可靠性。

小型化與便攜性

• 小型設計：檢測部（腔）小型化，便于攜帶和安裝。
• 分離式設計：傳感器部分和監測部分可分離，便于遠程監控和靈活安裝。

測量原理

• CRDS技術：基于光腔衰蕩光譜法（CRDS），通過測量光在腔內的衰減時間來直接計算水分含量。

應用場景

• 半導體行業：適用于半導體制造中的高純氣體微量水分測量。
• 其他工業應用：還可用于鋰離子電池、全固態電池、雙電層電容器、有機電致發光、平板顯示器等領域的微量水分測量。

技術參數

• 樣氣溫度：5至60℃。
• 樣氣流量：<2.0 L/min。
• 樣氣壓力：86至106 kPaA。
• 輸出功能：支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出，以及RS-232C的數字輸出。
• 電源：AC適配器（100-240V，50/60Hz，最大1.4A）。
• 尺寸與重量：傳感器部分約5kg，監測部分約1.7kg。

用戶友好設計

• LCD顯示屏：配備LCD顯示屏，操作界面友好，易于使用。
• 靈活安裝：支持多種安裝方式，包括臺式、壁掛式。

高精度測量

• 寬量程：可測量12 ppbv至20 ppmv（-100至-55℃露點）的微量水分

  。
• 高精度：系統精度為±4%或±12 ppbv，以較大值為準

  。

高速響應

• 快速響應：對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化，響應時間約60秒（90%響應）

  。

長期穩定性與耐腐蝕性

• 耐腐蝕性：傳感器部分采用耐腐蝕材料，適合測量腐蝕性氣體

  。
• 長期穩定性：采用CRDS技術，不依賴激光功率，具有長期測量可靠性

  。

小型化與便攜性

• 小型設計：檢測部（腔）小型化，便于攜帶和安裝

  。
• 分離式設計：傳感器部分和監測部分可分離，便于遠程監控和靈活安裝

  。

測量原理

• CRDS技術：基于光腔衰蕩光譜法（CRDS），通過測量光在腔內的衰減時間來直接計算水分含量

  。

應用場景

• 半導體行業：適用于半導體制造中的高純氣體微量水分測量

  。
• 其他工業應用：還可用于鋰離子電池、全固態電池、雙電層電容器、有機電致發光、平板顯示器等領域的微量水分測量

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技術參數

• 樣氣溫度：5至60℃

  。
• 樣氣流量：<2.0 L/min

  。
• 樣氣壓力：86至106 kPaA

  。
• 輸出功能：支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出，以及RS-232C的數字輸出

  。
• 電源：AC適配器（100-240V，50/60Hz，最大1.4A）

  。
• 尺寸與重量：傳感器部分約5kg，監測部分約1.7kg

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用戶友好設計

• LCD顯示屏：配備LCD顯示屏，操作界面友好，易于使用

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• 靈活安裝：支持多種安裝方式，包括臺式、壁掛式

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