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產(chǎn)品資料
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精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器

產(chǎn)品名稱: 精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器
產(chǎn)品型號: SEC-E 系列
產(chǎn)品特點: 精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器
高精度控制:控制精度可達 ±1.0% 設定點,確保流量控制的準確性。
快速響應:響應時間小于 1 秒,適用于動態(tài)過程控制。

精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器 的詳細介紹

精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器

精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器

  1. 高精度控制:控制精度可達 ±1.0% 設定點,確保流量控制的準確性。
  2. 快速響應:響應時間小于 1 秒,適用于動態(tài)過程控制。
  3. 多通信協(xié)議支持:支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議,確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
  4. 多氣體/多量程功能:用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設置,無需更換設備,提升靈活性。
  5. 高可靠性設計:采用 316L 不銹鋼接液材質,適用于腐蝕性氣體,高潔凈工藝兼容。
  6. 支持多種通信模式:即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
  7. 高精度和高速響應:提供高精度(+/- 1.0% 設定點)和高速響應。
  1. 多氣體/多量程功能:可降低制程成本。
SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用,可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。
  1. 高精度控制:控制精度可達 ±1.0% 設定點,確保流量控制的準確性。
  2. 快速響應:響應時間小于 1 秒,適用于動態(tài)過程控制
    。
  3. 多通信協(xié)議支持:支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議,確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
  4. 多氣體/多量程功能:用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設置,無需更換設備,提升靈活性。
  5. 高可靠性設計:采用 316L 不銹鋼接液材質,適用于腐蝕性氣體,高潔凈工藝兼容
    。
  6. 支持多種通信模式:即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
    。
  7. 高精度和高速響應:提供高精度(+/- 1.0% 設定點)和高速響應
  1. 多氣體/多量程功能:可降低制程成本
SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用,可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM
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