ballwave超微量水分計FalconTrace系列檢測原理分析

超微量水分計「FalconTrace」，是使用球SAW傳感器，定量性地測量工業用氣體和天然氣極微量包含的水分子的裝置。

響應速度極快，可實時監測含水量變化，還可進行含水量和背景氣體組成分析兩項測定。可以將氣體中的水分濃度準確地測量到1ppb（10億分之一）水平。

球SAW傳感器的測量原理

①簾子狀電極（IDT；Inter Digital Transducer）產生彈性表面波。

②彈性表面波在球的赤道上旋轉，對涂抹的感應膜的微小變化作出反應。

③由波紋狀電極檢測反應后的彈性表面波的信號變化。

④通過多次循環累計微小的變化，實現高靈敏度的傳感。

案例分析和用途

1. 半導體制造裝置制造商（主要是前工序）

2. 蓄電池制造商及其材料制造商制造工序

3. 工業煤氣制造廠

響應速度極快，可以以秒為單位監測水分量的變化，在半導體和二次電池的制造過程中有助于產品的成品率和質量穩定。

不需要對每個背景氣體進行再構成，在天然氣等成分有變動的情況下也可以同時檢測。另外，由于傳感器材料是水晶球，所以具有耐腐蝕性，重量輕，便于攜帶也是一大優點。

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FT-700WT

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