技術文章
半導體/液晶/電子元件相關應用的氧分析儀
半導體/液晶/電子元件相關應用的氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
氧氣計 MS-500
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從 ppm 級到 100% 的各種濃度。
適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）
高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進一步提高耐用性。
MS-500 設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分離式（轉換器：壁掛式，傳感器：直插式） | ||
| 顯示方式 | 數(shù)字4位顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 | ||
| 重復性 | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍 | ||
| 測量點數(shù) | 1-8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3～ 200 KPa（絕壓） | |
| 流量 | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴散狀態(tài)的測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-100℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 沒有任何 | ||
| 熱身時間 | 6分鐘內 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分） | |
| MS-510（轉換器） | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 全長100mm（感應部分Φ11×39，本體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 全長100mm（感應部分Φ11×42，本體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 全長100mm（感應部分Φ11×41，本體部分Φ40×49） | ||
| 大量的 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
| MS-510（換能器） | 約0.5kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
| 使用的電源 | 24VDC ± 10% | ||
氧氣計LC-450A、LC-450D
可以顯示從測量的ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍。
提高傳感器的耐用性
氧傳感器經(jīng)過特殊處理以提高其耐用性。交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅動緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號更短，并且不占用太多空間。符合 RoHS 指令的產品
CE標志自我聲明產品
EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003
LC-450A 設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 數(shù)字4位顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 | ||
| 重復性 | ± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍 | ||
| 抽樣方法 | 內置泵連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換（可選 0-10V） 絕緣，負載電阻 550Ω 或更少 記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧氣濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1分 | 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因設備異常接點閉合（接點動作可變更） |
| ALM（濃度報警） | 2 分（高 / 升） | 非電壓觸點，觸點容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低 時產生警報（接觸操作可改變）觸點閉合 | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2分 | 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 熱身時間 | 5分鐘內 | ||
| 尺寸 | 身體 | 210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 約6kg | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | RC1 / 4 | |
| 旁路輸出 | RC1 / 4 | ||
| 出口 | RC1 / 4 | ||
| 使用的電源 | 100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz | ||
LC-450D 設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 數(shù)字4位顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 | ||
| 重復性 | ± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍 | ||
| 抽樣方法 | 內置泵連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或多個 （可選：4-20mA的DC，絕緣，負載電阻550Ω或更小） 記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1分 | 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因設備異常接點閉合（接點動作可變更） |
| ALM（濃度報警） | 2 分 (L / LL) | 非電壓觸點，觸點容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低 時產生警報（接觸操作可改變）觸點閉合 | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 無電壓接點，接點容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下 預熱運行時接點閉合（接點動作可變更）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2分 | 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 熱身時間 | 5分鐘內 | ||
| 尺寸 | 身體 | 240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 約5公斤 | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | RC1 / 8 | |
| 旁路輸出 | RC1 / 8 | ||
| 出口 | RC1 / 8 | ||
| 使用的電源 | 24VDC ± 10%, 1.25A (30VA, 穩(wěn)態(tài)) | ||
氧氣計LC-860
低濃度測量 可測量從
ppb級到100%操作簡單
按鍵操作簡單吹掃功能
比較 氣體更穩(wěn)定，測量精度更高（僅限帶吹掃功能的規(guī)格）。高可靠性傳感器 傳感器
內部也可進行劣化防止處理（可選）
LC-860 設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 數(shù)字6位顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動/固定量程 | ||
| 重復性 | 氧濃度在±1%FS以內，小于1ppm和0-1ppm，atm范圍在保證濃度范圍之外 | ||
| 抽樣方法 | 內置泵連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
| 流量 | ~ 1,500 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA : 絕緣，負載電阻 600Ω 或更小 0-10V: 絕緣，負載電阻 500Ω 或更大 記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或自動/固定量程的任意4個量程 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1分 | 無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因設備異常接點閉合（接點動作可變更） |
| ALM（濃度報警） | 2分 | 無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下 接點在發(fā)生警報時閉合（接點動作可變更） | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下 預熱動作時接點閉合（接點動作可變更）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 3分 | 無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 | |
| 熱身時間 | 20分鐘內 | ||
| 尺寸 | 身體 | 288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 約10公斤 | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | RC1 / 8 | |
| 旁路輸出 | RC1 / 8 | ||
| 出口 | RC1 / 4 | ||
| 使用的電源 | 100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz | ||
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